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历史招中标信息91433条
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| 微纳平台工艺设备配套项目采购 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 微纳平台工艺设备配套项目采购 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****点击查看9900其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 需完成磁控溅射PVD、HMDS预处理系统、低气压气相沉积LPCVD、原子层沉积ALD、等离子体增强化学气相沉积系统、反应离子束刻蚀ICP-RIE、等离子体干法去胶机、IBE刻蚀机、微束定点离子精修系统、俄歇光电子能谱仪、Flip-chip倒装焊、二次离子质谱仪、X射线光电子能谱系统、尾气处理设备等设备水、电、气、排风等二次配方案设计及施工；一层氦气系统及二层氮气新增；二层备件周转间气路与电路新增；A08、A18房间彩钢板墙体拆除及恢复、一层西北侧土建墙体拆除恢复及钢制防火门安装、二层板换机组进水端替换以及A03、A13房间气路改造及设备入场准备等。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
基本情况
上次中标企业: 江苏****公司
潜在竞争对手: 共
29
个, 其中与甲方合作关系紧密的
2 家
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